Несмотря на то, что полный технологический маршрут включает обычно более 100 операций

Несмотря на то, что полный технологический маршрут включает обычно более 100 операций, с точки зрения моделирования можно выделить 8 видов технологических операций. Основными видами технологических операций при формировании интегральных структур являются:

— ионная имплантация;

— окисление,

— силицидизация;

— эпитаксия;

— отжиг;

— травление / осаждение;

— фотолитография.

Для каждого вида производственных операций существует целый ряд модельных представлений, аппроксимаций, применимых в различных диапазонах значений входных переменных.

По способу построения модели можно разделить на два класса: физические и геометрические.

Физические модели представляют собой системы уравнений, описывающие с той или иной степенью точности реальные физические и физико-химические процессы, происходящие в исследуемой структуре при данном виде технологической обработки.

Геометрические модели отображают внешний результат выполняемой технологической операции в виде изменения толщин и формы слоев, добавления или удаления некоторых слоев в исследуемой структуре.

Можно легко определить, какой тип модели используется в каком-то конкретном случае, по следующему внешнему признаку:

— для физических моделей входные параметры модели операции являются одновременно управляющими  параметрами, задающими режим работы технологической установки;

— для геометрических моделей входные параметры модели и параметры рабочего режима технологической установки различны.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector