Классификация моделей технологических операций.

Целью дисциплины является формирование знаний в области математического моделирования технологических процессов микроэлектроники, позволяющих глубже понимать сущность процессов, используемых в производстве изделий интегральной электроники, проектировать эти изделия на основе современных методов и с использованием современных компьютерных технологий.

В задачи изучаемой дисциплины входит:

         изучение основных физических явлений, используемых в процессах формирования элементов интегральных схем; математическое описание этих явлений с помощью основных уравнений, характеризующих процессы внедрения и перераспределения примеси в полупроводниковых материалах;

         изучение принципов численного моделирования технологических процессов и математических моделей основных технологических операций;

         формирование знаний в области достижений отечественной и зарубежной науки и техники в области математического моделирования технологических процессов микроэлектроники;

         формирование навыков по проведению численного моделирования процессов формирования основных интегральных структур, технологических маршрутов и отдельных технологических операций, анализу, систематизации и обобщению полученных расчетных данных, подготовки материалов для составления отчетов;

         обучение методам исследования объектов интегральной микроэлектроники на базе программных средств математического моделирования технологических процессов и современных компьютерных технологий.

Развитие и использование математических моделей технологических процессов и создаваемых в результате их применения приборов является одной из основ современного подхода к проектированию интегральных схем и важной частью концепции компьютерно-интегрированного производства, т.е. имеет как научное, так и практическое значение.

Без изучения и освоения на практике принципов моделирования технологических процессов невозможно правильно спроектировать элементы интегральных схем, разработать технологию изготовления, спроектировать технологические маршруты и организовать производство. Знания в области моделирования технологических процессов позволяют на должном уровне выполнить необходимые исследования  в ходе курсового проектирования по специальным дисциплинам и при работе над дипломным проектом.

В самом общем случае моделировать – означает исследовать физические явления и процессы на моделях, чтобы по результатам опытов судить о процессах, протекающих в натуральных условиях. Модель – это объект (реальный, знаковый или воображаемый), отличный от исходного, но способный заменить его в рамках решаемых задач.

Таким образом, использование моделей позволяет исследовать объект, не прибегая к эксперименту или значительно сокращая долю экспериментальных исследований, позволяет прогнозировать свойства объекта в случае изменения его исходных характеристик. Разработка модели включает анализ объекта, т.е. разделение его на составляющие элементы и установление связей между элементами внутри объекта, поэтому моделирование всегда означает углубленное изучение свойств объекта, систематизацию его характеристик, понимание фундаментальных причин, лежащих в основе его работы.

В качестве примера использования методов моделирования при разработке технологических маршрутов рассмотрим  анализ чувствительности приборных характеристик n-МОП транзистора к изменениям технологических параметров. В качестве технологических параметров были выделены: легирование подложки, толщина окисла при имплантации, толщина подзатворного окисла, размер затвора по поликремнию, доза и энергия имплантации карманов и исток/стоковых областей, параметры операции отжига исток/стоков. Обозначения в таблице 1.1: NП  концентрация примеси в подложке, tS  — толщина защитного окисла при имплантации, tOX  — толщина подзатворного окисла, LPOLY  — длина затвора по поликремнию, DCH — доза подлегирования канала, TS/D  — температура отжига областей исток/сток.

 

Таблица 1.1 Чувствительность приборных характеристик n

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector