Пространственное разрешение метода

Пространственное разрешение метода при определении положения pnперехода ограничивается длиной диффузии электрон-дырочных пар. Дифференцирование сигнала позволяет уменьшить размытие границы pnперехода на экране ЭЛТ (рис.16,в). Однако минимальная ширина границы не может быть меньше ширины ОПЗ pnперехода. Таким образом, в режиме наведенного тока можно наблюдать положения границ pnперехода или области, где существует внутреннее электрическое поле и рекомбинационные центры.

Подпись:  
Рис.14. Изображение в РЭМ в режиме наведенного тока: а - искаженный периметр p-n-перехода; б - появление области умножения носителей при пробое p-n-перехода
На рис.17 представлены микрофотографии поверхности образца, содержащего pnпереход, в режиме РЭМ НТ. На рис.17,а очевидно искажение границы pnперехода. На рис.17,б наблюдается область локального пробоя pnперехода. Умножение носителей при пробое приводит к увеличению тока, модулирующего сигнал, и появлению светлого пятна. При попадании луча в область рекомбинационного дефекта часть носителей рекомбинирует, не достигнув границы pnперехода, и ток во внешней цепи уменьшается (см. рис.17,б). На изображении эта область будет выглядеть более темной, чем соседние. Распределение дефектов по глубине исследуют, изменяя глубину проникновения первичных электронов, которая зависит от энергии электронов. Вблизи дефектов в диэлектрических пленках существует повышенная напряженность электрического поля, что вызывает рост туннельного тока и изменение контраста изображения.

При исследовании структур методом РЭМ могут быть внесены загрязнения за счет полимеризации углеводородов при воздействии электронного луча на поверхность, несмотря на поддержание вакуума в камере на уровне 1·10–4 Па. Кроме того, возникают радиационные повреждения в окисле, обуславливающие появление положительного заряда и поверхностных состояний на границе SiSiO2.

При измерении диэлектрических слоев методом РЭМ на поверхности возникает отрицательный заряд, если выход вторичных электронов больше единицы. Это приводит к искажению траектории первичного пучка и ухудшению изображения. Для устранения этого эффекта используют первичные пучки малой энергии. Другим способом предотвращения появления заряда на поверхности образца является нанесение заземленного слоя металлизации толщиной около10 нм.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector