Определить время процесса линейного роста оксида из условия

Определить время процесса линейного роста оксида из
условия  (9);

2. Оценить толщину оксида, соответствующую   линейному
участку роста из соотношения  (10).

2.   Построить теоретическую зависимость толщины оксида от времени термического окисления x(t)  для сухого кислорода и паров воды, пользуясь эмпирическими соотношениями (13) и (14).

3.   После проведения эксперимента построить экспери­ментальный и теоретический графики x(t). Сравнить теоретичес­кие и экспериментальные зависимости.

4.   Провести окисление в сухом кислороде. Для этого:

   включить подачу кислорода и продуть трубу в течение 5-10 мин. Расход 100 л/ч;

   пинцетом загрузить пластины в кварцевую лодочку;

   поставить лодочку с пластинами в начало печи и с по­мощью кварцевого крючка продвинуть в рабочую зону;

   выдержать пластины в рабочей зоне печи 30 мин;

— медленно выдвинуть лодочку с пластинами из рабочей зо­ны к краю трубы и дать остыть в течение 5-10 мин;

— взять пинцетом одну пластину и положить на кварцевую подставку. Дать  ей остыть в течение 5 — 10 мин;

   повторить указанные операции для всех пластин;

   определить толщину слоя оксида на всех пластинах цве­товым методом;

   построить зависимость x(t);

   определить экспериментальную величину В.

5. Провести окисление во влажном кислороде. Для этого:

   включить электроплитку и довести температуру воды в водяной бане до 40 °С;

   включить подачу кислорода через барботер и продуть трубу в течение 5-10 мин;

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector