Все основные технологические операции можно разделить на несколько больших групп:

Все основные технологические операции можно разделить на несколько больших групп:

— подготовка поверхностей для предстоящей обработки;

— нанесение слоев (окисление, осаждение, распыление);

— изменение рельефа слоев (травление, планаризация);

— изменение электрофизических свойств слоев (ионная имплантация, диффузия);

— создание маски для последующей локальной обработки (ФЛ);

— вскрытие контактных площадок в слое пассивации готовых микросхем;

— функционального тестирования микросхем на пластине с целью определения их соответствия требуемым рабочим характеристикам (годности) и отбраковки негодных схем;

— сборки микросхем на кристалле в корпус;

— функционального тестирования корпусированной ИМС[3].

Все технологические операции обработки пластины, кроме ФЛ, воздействуют на всю поверхность пластины одновременно. Но для воспроизведения топологии ИС необходимо воздействовать на предыдущий слой или кремниевую подложку селективно. Поэтому перед выполнением очередной технологической операции ФЛ необходимо формировать защитную маску для предохранения смежных участков пластины от воздействия активного фактора. Таким образом, ФЛ служит инструментом для формирования планарной топологической структуры ИС, и от ее разрешающей способности во многом зависят предельные размеры элементов получаемых изделий. От этого в свою очередь зависят такие важные потребительские качества ИС как быстродействие и степень интеграции.

Необходимость в создании защитных масок для селективной обработки слоев возникла вместе с изобретением ИС. С конца 1950-х годов и до наших дней удалось уменьшить минимальный получаемый размер от сотен микрон до десятых и сотых долей микрона. Такое многократное увеличение разрешающей способности ФЛ было бы невозможно без разработки совершенных технологических установок, а, следовательно, и без всестороннего изучения теории используемых физических явлений.

Наиболее быстрыми темпами литография стала развиваться с 1970-х годов. Толчком к этому послужили первые статьи с математическим описанием процессов литографии. В

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector