Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект.

1.      Опишите основные механизмы торможения ионов при ионной имплантации. Приведите выражения, график зависимости от энергии иона

2.      Чему равна полная средняя длина пробега иона в мишени? Поясните смысл параметров, входящих в уравнение.

3.      Как рассчитывается  проекция пробега иона в диффузионной модели Бирсака?

4.      Что такое критический угол каналирования? Приведите выражение и графическую иллюстрацию.

5.      Какие параметры должны учитываться в системе координат при моделировании ионной имплантации?

6.      Аппроксимация распределения ионов в мишени по нормальному закону. Асимметричное распределение Гаусса. Приведите выражения, укажите смысл входящих параметров.

7.      Параметры функции распределения Пирсон-IV. Проиллюстрируйте графически.

8.      Приведите пример аналитической аппроксимации распределения ионов, учитывающей эффект каналирования.

Диффузия

9.      Уравнения диффузии, определение коэффициента диффузии на макроскопическом и микроскопическом уровне.

10.Температурная зависимость коэффициента диффузии. Коэффициент диффузии для вакансионного механизма.

11.Основные уравнения модели связанной диффузии.

12.Граничные и начальные условия в моделировании диффузии.

13.Моделирование кластеризации примеси.

14.Модель кластеризации бора. Кластеры и преципитаты.

15.Модель кластеризации мышьяка.

16.Е-центры. Модель Файера-Цая для диффузии фосфора.

17.Примеры взаимного влияния примесей в процессе диффузии.

18.Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект.

19.Особенности моделирования диффузии в поликристаллическом кремнии.

Окисление

Уравнение Дила-Гроува для термического окисления кремния. График зависимости

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector