воздействие энергии поля высокой частоты

1.1.          Физические факторы:

·        воздействие энергии поля высокой частоты;

·        опасность поражения электрическим током;

·        шум при  работе форвакуумных насосов;

1.2.          Химические факторы – токсичные вещества:

·        диборан по токсичности близок к фосгену и влияет в основном на центральную нервную систему. Вдыхание даже небольших    количеств диборана вызывает головную боль, головокружение, тошноту и обморок.

·        гидридсодержащие смеси и галогениды кремния (германия), бора, фосфора, мышьяка, сурьмы (например диборан, фосфин, аргон), хлористый водород, водород, являющийся токсичным и пожаро- взрывоопасным веществом.

·        силан.

1.3.          Биологические факторы. Производственное помещение не способствует  распространению биологически опасных факторов.

1.4.          Психофизиологические факторы:

·        эмоциональные перегрузки;

·        монотонность труда;

2.      Количественная и качественная оценка факторов обитаемости.

2.1.          В рабочей камере установки необходимо поддерживать сверхвысокий вакуум (около 10−8 Па).

2.2.          Чистота испаряемых материалов должна достигать 99,999999 %.

2.3.          Процесс образования эпитаксиальных слоев происходит в реакционной камере при температуре 1150 – 1300 °С.

3.      Сравнение результатов оценки факторов с нормами и допустимыми значениями с целью выявления опасных и вредных производственных факторов (по действующим в настоящее время ГОСТам и СНиП с соответствующими дополнениями).

Работа на установке эпитаксиального наращивания характеризуется рядом опасных и вредных факторов, обусловленных наличием:

·        электрического тока высокого напряжения;

·        шума при работе форвакуумных насосов;

·        тока высокой частоты;

·        высокой температуры;

·        ряда токсичных препаратов: соединения мышьяка, сурьмы, фосфора, бора.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector