Современные автоматизированные установки

Современные автоматизированные установки измерения поверхностного сопротивления проводящих слоев используют обычно шаговое перемещение по радиусу r и азимутальному углу j. В этих установках используется рассмотренный выше метод самокомпенсации геометрических эффектов. Это позволяет определять поверхностное сопротивление проводящего слоя с погрешностью не более 0,1%, если зонды отстоят от края пластины на расстоянии не менее пяти промежутков между зондами.

Установки измерения поверхностного сопротивления представляют собой автоматизированные системы для сбора, записи, анализа и представления данных по поверхностному удельному сопротивлению. Они позволяют производить измерения в большом количестве областей на пластине, что используются для регистрации неоднородностей по пластине поверхностного сопротивления монокристаллических диффузионных, эпитаксиальных и ионнолегированых слоев, поликристалличесих слоев и слоев металлов. Такие установки обеспечивают различные варианты измерения поверхностного сопротивления, например, такие как:

       контурные диаграммы (поверхностное сопротивление измеряется в 49, 81, 255, 361, 441 или 625 областях на пластине);

       диаграммы распределения по диаметру (поверхностное сопротивление измеряется в 49, 81, 255, 361, 441 или 625 областях по диаметру пластины);

       скоростные испытания (измерения поверхностного сопротивления в 1, 3, 5, 6, 9 или 10 областях на пластине).

Контурные диаграммы.

Данные контурной диаграммы собираются, как правило, в виде стандартных наборов по 49, 81, 255, 361, 441 или 625 областей (см. рис.П-2). Одна область измерения находится в центре пластины, а остальные расположены на концентрических окружностях на одинаковых друг от друга расстояниях. Расстояния между окружностями определяется так называемым диаметром тестирования, при этом диаметр внешней окружности равен диаметру тестирования. Этот тип диаграмм чаще всего используется, например, для исследований однородности процесса ионного легирования.

Количество используемых окружностей зависит от выбранного набора точек измерения. Количество окружностей для 49 точек измерения равно 3, для 81  4, для 225  7 и т.д.

Два параметра влияют на построение контурной диаграммы.

1.    Контурный интервал, определяющий интервал между изолиниями и выражающийся в процентах от среднего значения.

2.    Критерий сортировки, используемый для исключения из контурной диаграммы всех значений, не попадающих в интервал – среднее значение ±N×Sigma, где критерий сортировки равен N×Sigma.

Типичная контурная диаграмма, измеренная системой RS30 представлена на рисунке П-3.

Жирная темная линия на контурной диаграмме показывает среднее значение поверхностного сопротивления на пластине. Каждая контурная линия представляет собой шаг контура от среднего значения. Каждый знак «+» показывает точку, измеренное значение в которой превышает среднее значение, каждый знак «-» показывает точку, измеренное значение в которой меньше среднего значения для пластины, каждый знак «.» показывает точку, лежащую за пределами «среднее значение ±N×сигма», как указано параметром критерий сорта. Затененная часть на маленьком рисунке пластины показывает ту область пластины, на которой выполнялись измерения.

Помимо контурных карт, автоматизированные системы измерения поверхностного сопротивления позволяют представлять результаты измерения в виде квазитрехмерных диаграмм. Типичный вид одной из таких диаграмм представлен на рисунке П-4.

Диаграммы распределения по диаметру.

В этом режиме данные измеряются при проходе по диаметру пластины в указанном пользователем направлении. По диаметру на одинаковых расстояниях друг от друга располагается

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector