В качестве рабочих газов для проведения стадии полимеризации применяют фторуглеродные газы

 

Требование точного контроля баланса между процессами травления и осаждения диктует более тщательно подходить к выбору газовой системы. Для достижения относительно высоких  значений скорости процесса плазменного травления необходимо использовать рабочие газы, обеспечивающие высокую концентрацию химически активных частиц. К таким газам можно отнести NF3, SF6  и т.д.

В качестве рабочих газов для проведения стадии полимеризации применяют фторуглеродные газы типа CHF3, C2F6 и др. Предпочтение следует отдавать газам, имеющим более высокое отношение .

В настоящее время широкое применение для пассивации боковых стенок и защиты маскирующего покрытия при проведении стадии полимеризации в «Bosch» процессе нашел октофторциклобутан (с-C4F8).

Циклический фторуглерод диссоциирует в высокоплотной плазме с образованием CF2 и более длинных радикальных цепочек, которые осаждаются в виде фторуглеродных полимеров на травящихся поверхностях.

 

 

Таким образом, проанализировав вышесказанное, можно заключить, что для реализации процессов глубокого анизотропного травления кремния с аспектным отношением не более 10:1 и глубиной менее 20 мкм предпочтительной газовой системой является SF6 + O2; для реализации процессов глубокого анизотропного травления кремния с аспектным отношением порядка 20:1 и более при глубине ≥ 20 мкм предпочтительной газовой системой является SF6 + C4F8.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector