Сни­жение скорости травления

    Сни­жение скорости травления на этом участке графика объясняется уменьшением общей концентрации молекул и электронов с понижением давления. При дальнейшем повышении давления за пределы Рmах ско­рость травления падает, так как → 0, что  обусловлено снижением электронной температуры.

    Электронная температура снижается с рос­том р, так как уменьшается средняя длина свободного пробега элек­тронов λе. В результате электроны при многократных столкновени­ях не успевают накопить большую энергию и средняя электронная энергия падает с повышением давления.

    В молекулярных газах электронная температура падает с ростом р не только вследствие уменьшения λе, но и вследствие изме­нения степени диссоциации молекул. Известно, что диссоциированные молекулы могут вызвать как повышение, так и понижение Те. В условиях СВЧ-разряда для электронных температур также наблюдался одинаковый ход кривых, но сред­ние энергии электрона имели более высокие значения.

    С ро­стом давления газа потенциал плазмы Vpснижа­ется за счет уменьшения объем­ных положительных зарядов, так как потеря электронов сокраща­ется. С понижением давления Vpрастет в результате более интенсивного вывода электронов из разрядного пространства из-за усиления процессов диффузии электронов к стенкам за счет увеличения как λе, так и средней энергии электронов.

    Основной причиной увеличения nепри переходе из области высоких давлений в область низких являет­ся повышение энергии электронов на длине их свободного пробега. С ростом энергии электронов увеличивается и вероятность ионизации молекул. При переходе к низким давлениям nеуменьшается в ре­зультате больших потерь электронов за счет диффузии и снижения вероятности столкновений электронов с молекулами газа.

            С увеличением подводимой в разряд мощности, значение pmax сдвигается в сторону больших давлений. Это объясняется тем, что энергия, приобретаемая в поле между двумя столкновениями, пропорциональна произведению градиен­та потенциала Е на свободный пробег. Если повысить мощность разряда, то градиент потенциала возрастает от E1до E2 и λе увеличится в  раз. При этом, если давление оставить на  прежнем уровне, то возрастет вероятность того, что электрон

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector