НГП является одновременно средой проведения, источником участвующих в процессе частиц

1.      НГП является одновременно средой проведения, источником участвующих в процессе частиц и стимулятором (активатором) процесса,

2.      НГП служит только источником участвующих в процессе частиц,

3.      НГП используется только для активации участвующих в процессе частиц, поверхностей или для стимуляции самого процесса.

В первом случае обрабатываемая поверхность твердого тела находится в контакте с плазмой, во – втором — вне плазмы, а в третьем – возможны оба варианта.

       В зависимости от вида плазмообразующего газа и природы поверхности твердого тела в каждом из трех перечисленных случаев с помощью НГП могут быть реализованы различные процессы обработки (рис.). Эти процессы можно объединить в три большие группы:

1. удаление материала с поверхности твердого тела (все виды распыления, травления и очистки),

2. нанесение материала на поверхность твердого тела (химическое из газовой фазы, физическое из материала мишени, физико – химическое из материала мишени, модифицируемого в газовой фазе),

3. модификация поверхностного слоя твердого тела (окисление, анодирование, нитридизация, легирование другими элементами, гетерирование, отжиг, текстурирование).

       Внешние и внутренние параметры плазмы характеризуют макроскопическое и микроскопическое описание. Если для решения технологических задач достаточно знание зависимостей химических свойств плазмы от внешних параметров (давление, энерговклад, ток, геометрия, температура и т.д.), то теоретическая плазмохимия, как правило, оперирует внутренними параметрами плазмы (концентрация частиц, распределение частиц по внутренним сосотояниям, по энергиям поля в плазме и др.). Нахождение связей внутренних и внешних параметров плазмы является одной из важнейших задач плазмохимии.

 

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector