Рекомбинация заряженных частиц и ХАЧ

Иначе обстоит дело со степенью диссоциации (концентрацией ХАЧ) в НГП, которая в равновесии должна соответствовать низкому значению Тг. Однако, из – за присутствия высокоэнергетических по сравнению с частицами газа электронов в стационарном состоянии концентрация ХАЧ (а также продуктов их реакций) в плазме может существенно отличаться от термодинамически – равновесной, в частности может значительно превышать последнюю. В образовании ионов и ХАЧ в НГП помимо электронов могут принимать участие возбужденные атомы и молекулы, находящиеся главным образом в метастабильном (долгоживущем) состоянии.

Рекомбинация заряженных частиц и ХАЧ может происходить внутри плазмы (гомогенная рекомбинация) и на ограничивающих ее поверхностях (гетерогенная рекомбинация), из которых выделим специально обрабатываемые плазмой поверхности. Обозначая скорости генерации ионов и ХАЧ электронным ударом соответственно Gи.э. и Gхачэ, скорости генерации возбужденными метастабильными частицами Gи.м. и Gхачм, скорости их гомогенных рекомбинаций Rи.гом. и Rхачгом., скорости гетерогенной рекомбинации на ограничивающих плазму поверхностях Rи.гет. и Rхачгет., скорости гетерогенной рекомбинации на обрабатываемых поверхностях Rи.п. и Rхач п, получаем уравнения для расчета стационарных концентраций заряженных частиц и ХАЧ:

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector