Особенностей воздействия плазмы на обрабатываемые структуры

2 Особенностей воздействия плазмы на обрабатываемые структуры

При дальнейшем рассмотрение задачи необходимо учитывать тот факт, что, в конечном счете, при плазменном формировании микроструктур результат процесса будет обусловлен особенностями воздействия плазмы, генерируемой в источнике того или иного типа на обрабатываемую поверхность. Поэтому для постановки требуемого производством технологического процесса следует принять во внимание следующие соображения.

Поверхность, контактирующая с плазмой, при проведении процесса травления, облучается потоками нейтральных атомов, молекул, ионов, электронов и фотонов. Свойства модифицированных поверхностных слоев формируемой структуры зависят от совокупного действия этих процессов, наиболее существенные из которых проиллюстрированы в таблице 1.2.

При анализе возможных воздействий на обрабатываемую поверхность можно допустить, что в ситуации, представляющей практический интерес, реакции плазменного травления в основном определяются падающими потоками ионов, нейтралов и электронов, тогда как фотонная бомбардировка играет незначительную роль.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector