При реактивном распылении кремния напускаемый в рабочую камеру кислород

При реактивном распылении кремния напускаемый в рабочую камеру кислород взаимодействует с конденсирующими на поверхности подложки атомами кремния, в результате чего образуется пленка SiO2.

При нанесении реактивным распылением диэлектрических пленок нитрида кремния Si3N4 происходит аналогичный процесс. В рабочую камеру напускают тщательно осушенный и очищенный от кислорода аргон с добавкой азота. Ионы этих газов, бомбардируя кремниевый катод, выбивают из него атомы кремния и на подложке вследствие большой химической активности ионизированных атомов азота образуется пленка нитрида кремния Si3N4, отличающаяся высокой химической стойкостью.

Так как условия реакции при нанесении диэлектрических пленок существенно зависят от постоянства в рабочем газе процентного содержания напускаемого реактивного газа, необходимо строго следить за его подачей. Напуск газов в рабочую камеру обычно производят двумя способами:

— вводят оба газа (аргон и реактивный) из магистралей или баллонов, контролируя расход реактивного газа микрорасходомером и поддерживая постоянное давление;

— вводят заранее подготовленную определенного состава рабочую смесь газов из резервуара.

Метод реактивного распыления позволяет управляемо изменять свойства пленок. Конкретные концентрации активных составляющих в инертном газе, обеспечивающие изготовление пленок с заданными свойствами, зависят от многих факторов. Укажем важнейшие из них:

1. Скорость осаждения должна быть согласована с подачей активного газа. При прочих равных условиях чем больше заданная скорость осаждения, тем больше требуется активного газа для поддержания неизменными требуемых свойств пленки.

2. Вследствие того, что активные газы в процессе распыления очень сильно геттерируются, концентрацию их при постоянном общем давлении системы следует понижать по мере увеличения расхода.

3. Количество реагентов, затрачиваемое для осаждения, необходимо контролировать. Если изменяют общее давление, то для сохранения свойств пленок

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector