Нормальный и аномальный тлеющие разряды

Если для целей распыления желательно работать при очень низких давлениях, то необходимо дополни­тельными средствами либо возбуждать разряд, либо удлинять траекторию электронов. Для возбуждения раз­ряда можно воспользоваться высокочастотным полем или вспомогательным нагретым катодом, эмигрирую­щим электроны в газовую среду. Траекторию электронов можно удлинять с помощью магнитного поля, которое заставляет их двигаться по спирали.

            Нормальный и аномальный тлеющие разряды. Если между двумя плоскими электродами поддерживается тлеющий разряд, то падение напряжения в разрядном промежутке зависит от силы тока (см. рис. 3.2). В не­котором интервале изменений силы тока (который может охватывать от двух до трех порядков величины) падение напряжения на промежутке постоянно. Как уже было отмечено, такой режим называется режимом нормаль­ного тлеющего разряда. Для него характерно то, что в разряде участвует лишь некоторая доля поверхности катода и увеличение силы разрядного тока происходит за счет охвата все новых участков поверхности катода, но плотность тока с активных участков остается постоянной. Когда разрядом охватывается вся площадь катода, даль­нейшее увеличение тока может происходить лишь за счет увеличения плотности его с единицы поверхности катода. Такое увеличение плотности тока j приводит к увеличению падения

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector