Нанесение пленок методом катодного (ионного) распыления.

Нанесение пленок методом катодного (ионного) распыления.

Принцип действия устройств ионного распыления основан на таких физических явлениях, как ионизация частиц газа, тлеющий разряд в вакууме и распыление веществ бомбардировкой ускоренными ионами.

Как известно, под ионизацией понимают процесс превращения нейтральных частиц газа (атомов и молекул) в положительно заряженные ионы. Физика этого процесса состоит в следующем (рис. 3.1). Находящийся между двумя электродами газ всегда содержит несколько свободных электронов. Если между электродами – анодом 4 и катодом 9 – создать электрическое поле, это поле будет ускорять свободные электроны. При встрече с нейтральной частицей газа 3 ускоренный первичный электрон 1 выбивает из нее вторичный электрон 6, превращая нейтральную частицу газа в положительно заряженный ион 5. Отраженный первичный электрон 2 и вторичный электрон 6, в свою очередь, могут быть ускорены электрическим полем и при взаимодействии с нейтральными частицами газа образовать по паре заряженных частиц. Так развивается лавинообразный процесс появления в газовой среде двух видов заряженных частиц, и газ, будучи в нормальных условиях электрическим изолятором, становится проводником.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector