Другим способом измерения давления с помощью механических полупроводниковых преобразователей является емкостной метод.

Другим способом измерения давления с помощью механических полупроводниковых преобразователей является емкостной метод. В этом случае нижняя сторона инерционной массы покрывается тонкой пленкой металла, которая действует как одна из обкладок плоского конденсатора. Для получения второй обкладки подложка обрабатывается таким же образом. Емкость C плоского конденсатора определяется выражением:

,

где A – площадь обкладок, ε0 диэлектрическая постоянная, εr – диэлектрическая проницаемость материала, находящегося между обкладками конденсатора, d – расстояние между обкладками.

Изменение dприводит к изменению емкости С. Так как отношение между ними нелинейно, применяется линеаризация, для чего используется соединение по мостовой схеме или микропроцессор. Емкость очень чувствительна к изменениям температуры, так как термическое расширение влияет на величину d. Этот эффект можно уменьшить, применив конструкцию дифференцирующего двойного конденсатора, показанную на рисунке 15. Дальнейшего улучшения этой системы можно добиться, включив ее в два плеча мостовой схемы постоянного тока, что приведет к линеаризации выходного сигнала Еэкв=(Vs/2d)x, где 2d– расстояние между крайними обкладками конденсатора, а x — смещение центральной обкладки.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector