эффективная масса, в качестве которой можно взять массу конечного блока кантилевера в том случае, если

– эффективная масса, в качестве которой можно взять массу конечного блока кантилевера в том случае, если она больше массы балки примерно в 30 раз.

Кроме простейших кантилеверов разрабатываются другие конструкции, напоминающие по форме гамак или крабовые ножки, а также различные варианты гибких подвесов.

Ниже представляются методы детектирования деформации. Наиболее популярны в настоящее время пьезорезистивный и емкостной способы.

С середины 1980-х в промышленных объемах стали доступны акселерометры с тензорезистивным преобразованием. Самые ранние конструкции были подобны датчикам давления, представленным выше, с дополнительной массой в центре мембраны. В современных конструкциях миниатюрная инерционная масса подвешивается с помощью опор, в структуру которых входит тензорезистивный элемент. Если в качестве «пружин» используется кремний, свойства которого в обычном состоянии нелинейны, существенным становится очень тщательный выбор геометрии устройства, особенно если требуется получить линейный выходной сигнал. Как было отмечено выше, пьезорезистивные устройства чувствительны к загрязнениям и их характеристики испытывают температурный дрейф. Для обеспечения стабильной работы датчика его необходимо помещать в корпус и применять схему температурной компенсации, которая может быть выполнена с использованием нерабочего эталонного элемента.

Как и в случае с тензорезистивными датчиками давления хорошей альтернативой использованию эталонного элемента является применение нескольких чувствительных элементов. Это легко проиллюстрировать на примере простого кантилевера. Чувствительные элементы размещаются на верхней и нижней поверхностях кантилевера, которые подвергаются действию напряжений противоположного знака. При соединении этих элементов в мостовую схему, как показано на рисунке 14, можно увеличить чувствительность, также как и компенсировать температурный дрейф. Еэкв – разность потенциалов на концах разомкнутой цепи.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector