Датчики давления классифицируются в зависимости от выбора опорного давления

В последние годы скорость роста применения миниатюрных датчиков давления феноменальна. В автомобильной промышленности наблюдается увеличение на 20% в год в течение последнего десятилетия. Наиболее раннее сообщение о применении миниатюрных датчиков давления для контроля циркуляции выхлопных газов относится к 1989 году. В дальнейшем создавались устройства для измерения давления в трубопроводах, покрышках горючих газов и жидкостей в гидравлических системах.

Датчики давления классифицируются в зависимости от выбора опорного давления:

датчики абсолютного давления: давление измеряется относительно вакуума;

дифференциальные датчики давления: измеряют разность давлений в двух точках системы;

манометры: измеряют давление, избыточное по отношению к атмосферному.

Рассмотренное выше явление тензосопротивления широко используется при создании чувствительного элемента. Для получения в монокристаллическом кремнии мембран прямоугольной или круглой формы толщиной порядка 10 мкм используется технология объемной микромеханики. Тензорезисторы создаются на поверхности мембраны, площадь которой составляет порядка 1 мм2. Расположение тензорезисторов определяется распределением деформаций мембраны под действием давления. Для круглой мембраны должны быть учтены деформации в двух направлениях. Одна – в радиальном направлении, вторая возникающая в результате кольцевого напряжения перпендикулярно радиусу (рисунок 11). Соотношения для обоих напряжений являются функцией радиуса. Дэли и Рилей (1978) представили следующие выражения для деформации мембран:

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector