Оборудование для нанесения металлических пленок

Нанесение металлических пленок проводят в вакуумных камерах. Обычно пленки физически осаждаются на пластины из парогазовых смесей в процессе конденсации паров металлов. Изотропность осаждения на рельефе структуры определяется давлением газов и паров в камере. Для воздуха выполняется соотношение

                                 см×Па                                   (10.2)

где P– давление газа,  l – длина свободного пробега молекул.

При вакуумном испарении давление в камере меньше 10-2Па и l~ 1 м. Молекулы металла движутся от источника к пластинам прямолинейно, осаждение металла анизотропное. На рельефе структуры возникает теневой эффект, при котором на ступенях толщина пленки уменьшается в несколько раз. Возможны и разрывы пленки. Для снижения теневого эффекта повышается температура подложек, увеличивающая подвижность осаждающихся атомов металла. С той же целью держатели подложек вращаются вокруг двух осей, непрерывно меняя угол падения атомов металла на пластину. Од

Важнейший параметр процесса осаждения металлической пленки – это ее толщина. Наиболее часто используются датчики контроля толщины пленок на основе кварцевого резонатора. Кварцевый резонатор – это пластина кристаллического кварца с нанесенными на обе поверхности металлическими электродами. Механические колебания пластины вызываются пьезоэлектрическим эффектом. Резонансная частота колебаний зависит от массы пластины. Дополнительная масса, осажденной на резонатор пленки, вызывает изменение резонансной частоты, которое может быть точно измерено.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector