Термин «металлизация»

 

Термин «металлизация» объединяет группу технологических процессов формирования электрических соединений и омических контактов к полупроводниковым приборам. В современных микросхемах число уровней электрических соединений достигает восьми и продолжает увеличиваться. Процессы металлизации составляют почти половину производственного маршрута. Этап металлизации завершает производственный маршрут обработки пластин, и все технологические процессы ограничены по температуре, используемым реагентам, энергии и дозе сопутствующего ионизирующего излучения. Система электрических соединений и контактов должна соответствовать комплексу требований функциональности, технологичности и надежности:

а) Система электрических соединений не должна ограничивать плотность размещения функциональных элементов на кристалле микросхемы.

б) Сопротивления проводников в системе электропитания и в сигнальных связях не должны влиять на уровни электрических сигналов.

в) Постоянная времени перезаряда собственной емкости проводника (Rn×Cn) в сигнальных связях должна быть много меньше задержки сигнала в полупроводниковых элементах микросхемы. Сопротивление проводников в конкретном уровне металлизации определяет их максимальную длину.

г) Процессы формирования металлизации не должны ухудшать параметры полупроводниковых приборов.

д) В состав микросхемы не должны входит ядовитые вещества. Необходимо предусмотреть переработку отходов и бракованных изделий

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector