Дайте определение понятию разрешающая способность.

1.           Дайте определение понятию разрешающая способность.

2.           Каким образом определяется разрешающая способность фоторезиста и какие факторы влияют на величину разрешающей способности?

3.           Каким образом определяется разрешающая способность фотолитографической обработки и какие факторы влияют на величину разрешающей способности фотолитографии?

4.           Перечислите основные технологические требования, предъявляемые к пленке фоторезиста.

5.           Какие факторы определяют маскирующие свойства пленки фоторезиста?

6.           Перечислите способы нанесения покрытий (пленок) из их растворов на подложки?

7.           Дайте краткую характеристику способу нанесения пленок в поле центробежных сил.

8.           Дайте краткую характеристику способу нанесения пленок путем извлечения подложки из раствора.

9.           Дайте краткую характеристику способу нанесения пленок из факела распыляемого раствора.

10.      Какие динамические параметры привода центрифуги определяют толщину и воспроизводимость толщины наносимой пленки?

11.      Как влияет количество раствора фоторезиста, подаваемого из дозатора на подложку перед центрифугированием, на формирование пленки?

12.      По какой причине не рекомендуется подавать дозу раствора фоторезиста  для формирования пленки на подложке, изначально вращающейся на центрифуге?

13.      В циклограмме работы центрифуги какие должны соблюдаться требования, устанавливаемые к таймеру (реле времени), для промежутка времени между окончанием выдачи раствора из дозатора на подложку и началом ее вращения на патроне центрифуги?

14.      Какой физический принцип используется в приводе центрифуги для быстрого разгона ее шпинделя?

15.      Опишите два физических процесса выхода растворителя из пленки фоторезиста?

16.      Дайте сравнительную характеристику процессам конвективной и радиационной сушки пленки фоторезиста.

17.      Какие основные технические требования должны выполняться при проектировании ИК-излучателей для камер сушки пленок фоторезиста?

18.      Какова сущность процесса термокомпрессионной сушки фоторезиста?

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector