Принцип работы модуля центрифуги при проведении

Принцип работы модуля центрифуги при проведении операции нанесения пленки фоторезиста на подложку заключается в следующем. Подложка укладывается на столик. Открывается клапан 3 на вакуумном трубопроводе и происходит отсос

воздуха через вакуумную камеру 16 в центральном канале шпинделя 1. Подложка плотно прижимается к поверхности столика.

От электродвигателей, включенных заранее и не отключаемых в течении рабочей смены, вращение с определенными угловыми скоростями передается через ременные передачи на маховики 4и 21.При этом направления вращения маховиков должны быть противоположными. После того, как на подложку подана доза раствора фоторезиста, включается клапан 13, и сжатый воздух, поступая в полость 12, воздействует на кольцевую мембрану 9, которая передает движение на толкатели 10. Толкатели, упираясь во втулку 11, сцепляют малоинерционный диск 7 с маховиком 4. При этом происходит быстрый разгон шпинделя до заданного числа оборотов маховика. 

По истечении времени, необходимого для процесса растекания фоторезистивной  пленки, клапаном 13 отключается подача сжатого воздуха и под действием пружины 17 происходит расцепление малоинерционного диска 7 с маховиком 4. Открывается клапаны 20 и 15, в полости 19 и 23 поступает сжатый воздух, который воздействует на мембраны 9 и 24, вследствие чего малоинерционные диски 7 и 22 тормозятся об кольца 18. Затем, отключаютсяклапаны 20 и 15, диски расцепляются с тормозными кольцами. Включается клапан 14, и сжатый воздух, поступая в полость 25, воздействует на кольцевую мембрану 24, которая передает движение на толкатели 26. Толкатели, упираясь во втулку 5, сцепляют малоинерционный диск  22 с маховиком 21, за счет чего обеспечивается реверсивное  (в противоположном направлении) вращение шпинделя и подложки на столике.

По истечении времени, необходимого для уменьшения утолщенных областей в углах подложки, клапаном 14 отключается подача сжатого воздуха и под действием пружины 6 происходит расцепление малоинерционного диска 22 с маховиком 21. Затем происходит процесс торможения описанный выше. Далее закрывается клапан 29 и соответственно прекращается отсос воздуха из центрального канала шпинделя. Подложки с нанесенными на них пленками фоторезиста снимаются с патрона.

При проектировании центрифуги с приводом, обеспечивающим быстрый разгон, необходимо рассмотреть переходные процессы в электроприводе и тем самым решить  задачу по вычислению времени разгона до задаваемой скорости вращения подложки.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector