. Конструкция и принцип работы модуля центрифуги

 Модуль (рис.1)  состоит из шпинделя I, установленного в подшипниках 2, и втулки 3, маховика 4. установленного в подшипниках 5, корпуса 6, который имеет окна для сцепления маховика ременной передачей с валом двигателя, малоинерционного диска 7, который расположен на шпинделе и может  перемещаться вдоль  него по шлицам. Кроме того, для сцепления малоинерционного диска с махови­ком, в который установлено фрикционное кольцо 8, предусмотрена кольцевая мембрана 9, взаимодействующая с толкателями 10 и на­ружным кольцом подшипника II.

 

Рис.1. Модуль центрифуги

Полость 12 соединена с магистралью сжатого воздуха через управляемый клапан 13 и стабилизатор дав­ления 14. Нижний конец шпинделя входит в вакуумную камеру 15, расположенную в корпусе 6, и не касается ее стенок.

Вакуумная камера имеет лабиринтные уплотнения и соединена трубопроводом с ва­куумным насосом через клапан 16. На верхнем конце шпинделя  уста­новлен патрон 17, на котором укладывается подложка. Пружина 18 служит для прижима малоинерционного диска к тормозному кольцу 19, укрепленному в корпусе.

Сцепление малоинерционного диска с маховиком может осуществ­ляться также сообщением полости 12 с атмосферой и соединения по­лости 20 через клапан 21с вакуумной системой.

Принцип работы центрифуги по нанесению пленок фоторезиста на подложки заключается в следующем. Подложка укладывается на патрон 17, открывается клапан 16, происходит отсос воздуха через вакуум­ную камеру 15 в центральном канале шпинделя и подложка плотно при­жимается к поверхности патрона.

От включенного электродвигателя через ременную передачу разгоняется маховик до заданной скорости. После того, как на подложку подана доза раствора фоторезиста, включается клапан 13 и сжатый воздух, поступая в полость 12, воздействует на кольцевую мембрану 9, которая передает движение на толкатели 10. Толкатели, упираясь в наружное кольцо подшипни­ка II, сцепляют малоинерционный диск 7 с маховиком 4. При этом происходит быстрый разгон шпинделя до заданного числа оборотов маховика. По истечении времени, необходимого для формирования фоторезистивной пленки, посредством клапана 13 прекращается пода­ча сжатого воздуха в полость 12 и под действием пружины 18 происходит разъединение малоинерционного диска с маховиком. Малоинерционный диск тормозится за счет трения о тормозное кольцо 19, и шпиндель оста­навливается почти мгновенно. Затем происходит закрытие клапана 16, тем самым прекращается отсос воздуха из центрального канала шпинделя. Подложка с нане­сенной на ней пленкой фоторезиста можно снимать с патрона 17.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector