Нанесение фоторезистивных плёнок

Нанесение фоторезистивных плёнок на центрифугах в принципе происходит при нестационарных режимах. Неста­ционарность состоит в том, что раствор фоторезиста приводится во вращение на пластине из состояния покоя. Причем в зависимости от технических характеристикэлектродвигателя, привода и конструкции самой центрифуги время разгона до постоянной угловой скорости  подложки может быть значительным (от десятых долей до нескольких секунд). Время растекания раствора фоторезиста на подложках диа­метром 100 — 150 мм при угловых скоростях более 50 с, как показывает экспери­ментальное исследование и скоростная киносъемка составляет со­тые доли секунды. Следовательно, растекание пленки фоторезиста происходит в период разго­на центрифуги (т.е. когда угловая скорость  непостоянна) и про­цесс формирования пленки на подложке является нестационарным. Следует отметить, что при медленном разгоне про­исходит заметное испарение легколетучих компонентов (растворителей), вслед­ствие чего в растекающемся по подложке растворе изменяется вяз­кость и характер течения пленки. При растекании раствора по подложке с изменяющейся (возрастающей) вязкостью плёнка становится неоднородной по толщине. Возможно осуществить такие условия в период пуска центрифуги, при которых вращение подложки можно было бы рассматривать как равномерное с определенной угло­вой скоростью, т.е.. нестационарное течение пленки во время центрифугирования можно рассматривать как квазистационарное. Принято считать, что процесс формирования пленки  приближается к квазистационарному при значениях времени разгона .

Известно, что для ненагруженнных электродвигателей время разгона до рабочей скорости в лучшем случае составляет сотые доли секунды. При нагрузке двигателя дополнительными механизмами время разгона увеличивается значительно (иногда на порядок и больше).

Быстрое включение центрифуги на рабочую скорость, т.е. с малым временем разгона, можно осуществить двумя путями.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector