Оборудование вакуумно-плазменного травления материалов

Под процессом травления при создании микростуктур в производстве приборов микроэлектроники и микросистемной техники понимается создание микрорельефа на обрабатываемой поверхности за счет селективного удаления с нее атомов или молекул вещества.

К процессу травления предъявляются три основных требования:

1.      Высокая анизотропия процесса, т.е. отношение скорости травления материала по нормали к поверхности к скорости травления боковых поверхностей формируемого профиля.

2.      Высокая селективность травления, т.е. отношение скорости травления обрабатываемого материала к скорости травления другого материала, находящегося на его поверхности (маска) или под ним (основание или подслой).

3.      Высокие скорости травления материала, т.е. высокая производительность процесса.

На этапах становления фотолитографии как основного метода создания микроструктур использовалось жидкостное химическое травление (ЖХТ) материалов, при которых материал с поверхности удаляется за счет химического взаимодействия с жидким травителем и последующего отвода продуктов реакции с потоком жидкости.

Однако с повышением степени интеграции ИМС и переходом на субмикронные размеры элементов микроструктур жидкостные методы травления уже перестали обеспечивать необходимую разрешающую способность, что явилось препятствием на пути микроминиатюризации приборов. Кроме того, процессы жидкостного травления практически не поддаются автоматизации и управлению от ЭВМ.

Низкая разрешающая способность ЖХТ связана прежде всего с тем, что для большинства материалов процесс ЖХТ является изотропным, т.е. травление происходит с одинаковой скоростью во всех направлениях. Для получения высокой разрешающей способности необходимо, чтобы процесс травления был анизотропным.

Наиболее перспективным для субмикронной технологии в настоящее время являются методы вакуумно-плазменного травления (ВПТ). Они являются более экономичными, высокопроизводительными, обеспечивают высокую разрешающую способность и практически полную автоматизацию процесса обработки.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector