Автоматизация режимов процесса обработки

представляет наибольшую сложность, главным образом по причине отсутствия надежных и точных датчиков оперативного контроля параметров процесса, а также алгоритмов управления, определяющих взаимосвязь между достаточно большим количеством параметров, влияющих на свойства наносимой пленки.

Следует также подчеркнуть, что некоторые параметры двух предыдущих систем в то же время выступают параметрами процесса осаждения и, следовательно, все системы установки должны быть охвачены единой системой управления, которая создается на базе ЭВМ.

В идеальном случае необходимо непосредственно контролировать требуемый параметр пленки по соответствующему датчику, однако отсутствие или недостаточная точность и надежность существующих датчиков вынуждает вести контроль и управление косвенным путем по параметрам режимов обработки.

Как правило, в установках вакуумного нанесения контролируются следующие параметры:

1.          напряжение, ток и мощность источника материала (стандартными электроприборами);

2.          скорость транспортировки или время обработки пластин (тахометры, фотодатчики, счетчики);

3.          величина и стабильность рабочего давления в зоне обработки (вакуумные датчики, натекатели);

4.          расход рабочего газа;

5.          температура пластин (терморезисторы, термопары, радиометры и т.п.);

6.          расход осаждаемого материала и момент смены или дозагрузки расходуемого элемента (по времени или выходу рабочих параметров за пределы допустимых).

В качестве примера можно привести автоматизированную отечественную установку конвейерного типа 01-НИ-7-015 для нанесения материалов методом магнетронного распыления. Установка оснащена микропроцессором, который контролирует, стабилизирует и управляет следующими параметрами:

     величиной напряжения, тока и мощности магнетронных распылительных устройств и их стабильностью во времени процесса;

     скоростью перемещения конвейера;

     величиной и стабильностью давления рабочего газа;

     ходом загрузки-выгрузки пластин;

     ресурсом мишени;

     температурой подложек.

Оператор только устанавливает кассету с пластинами в шлюз загрузки и извлекает кассету с обработанными пластинами из шлюза выгрузки. Все остальные операции выполняются в автоматическом режиме, а их ход контролируется оператором на экране дисплея.

 


Ссылка на основную публикацию
Adblock detector