Автоматизация контроля и управления в оборудовании нанесения пленок

Основными требованиями к технологическому оборудованию по контролю и управлению процессами являются следующие:

1.          автоматическое управление от мини-ЭВМ или микропроцессора;

2.          программирование процесса в режиме диалога;

3.          активный контроль параметров процесса;

4.          адаптивное управление при изменении параметров;

5.          отображение информации о ходе процессов на дисплее.

В современной установке необходимо управлять следующими процессами:

1.          вакуумной откачкой;

2.          загрузкой, транспортировкой и выгрузкой пластин;

3.          режимами процесса обработки.

Вакуумная откачка в настоящее время полностью автоматизируется на базе блокировочных вакуумметров. Датчиками служат тепловые и ионизационные манометры, работающие с блокировочными вакуумметрами типа 13ВТ3-003, ВМБ, ВИЦ и др. Сигнал может выдаваться как в аналоговой, так и в цифровой форме. При достижении заданного давления по этому сигналу обеспечивается автоматическое срабатывание соответствующего коммутационного элемента вакуумной системы (клапана, натекателя, затвора и т.п.), а также средств откачки и средств защиты.

Для стабилизации давления в камере на заданном уровне используются специальные системы подачи газа, управляемые по сигналу с датчика давления, например, в качестве регулятора давления может быть использован вибронатекатель, принцип работы которого основан на изменении расхода газа при изменении частоты колебания клапана, перекрывающего газовый канал. При отклонении давления от номинального меняется частота колебаний клапана, в результате отклонение компенсируется изменением расхода подаваемого газа.

Управление вакуумной системой может быть полностью осуществлено по программе от микропроцессора или мини-ЭВМ.

Проблемой остается создание прецизионного датчика оперативного измерения давления в технологическом процессе и стабилизации давления с высокой точностью (с погрешностью ± 2 % и ниже).

Загрузка, транспортировка и выгрузка также полностью автоматизируется. Как правило, эти операции осуществляются в заданной последовательности по циклограмме по жесткой программе под контролем микропроцессора. В качестве датчиков положения рабочих органов и обрабатываемых подложек используются:

     концевые выключатели;

     индукционные датчики;

     фотодатчики (на базе, например, свето- и фотодиодов);

     ИК датчики.

Имеется необходимость в контроле и регулировании скорости перемещения

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector