Емкостной метод

Емкостной метод основан на измерении малых приращений емкости плоского гребенчатого конденсатора при осаждении на него пленки диэлектрика (рис. 1.38).

Емкость конденсатора С изменяется вследствие изменения диэлектрической проницаемости ε между обкладками конденсатора за счет заполнения промежутка между ними диэлектрической пленкой:

C = C0 + ∆C,                                                        (1.48)

где С0 – начальная емкость конденсатора; ∆C=f(ε)h – изменение емкости конденсатора в процессе осаждения пленки.

 

Для измерения емкости в приборе используется измерительный мост, в одно плечо которого встроен емкостной датчик, а в другое – эталонный переменный конденсатор. С помощью эталонного конденсатора устанавливают емкость, соответствующую нужной толщине пленки диэлектрика. По мере осаждения пленки емкость датчика растет, приближаясь к заданной, и в момент равновесия моста процесс прекращается.

Отечественные приборы имеют марку EИT (емкостной измеритель толщины).

Для емкостного метода характерны следующие недостатки:

1.      Отсутствие универсальности (только для диэлектриков, но можно измерять и v, пропуская поток пара между обкладками, плотность которого определяется ε).

2.      Непостоянство ε в зависимости от параметров процесса приводит к погрешности измерения h.

3.      Датчик разового действия, после заполнения гребенчатого конденсатора требуется его чистка или замена.

4.      Необходимость калибровки и построения градуированной кривой для каждого материала.

5.      Влияние температуры на показания датчика (необходимо ее стабилизация).

6.      Невысокая чувствительность (применим для сравнительно толстых пленок).

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector