В частности, величина СИ определяется качеством изоляции ВЧ электрода и зазором между ним и корпусными элементами.

Элементы СИ, СМ, RИ, RМ шунтируют разрядный промежуток, вызывая уменьшение тока разряда. На элементах LB, RB, ZП происходит падение напряжения, что приводит к уменьшению напряжения на разрядном промежутке. С увеличением частоты отрицательное влияние этих элементов усиливается, поэтому при конструировании РС следует обеспечивать минимально возможные их величины.

В частности, величина СИопределяется качеством изоляции ВЧ электрода и зазором между ним и корпусными элементами. Обычно ВЧ электрод изолируется от корпуса камеры заземленным экраном для того, чтобы предотвратить возникновение разряда на корпус. Зазор между экраном и ВЧ электродом должен быть, с одной стороны, меньше темного катодного пространства для предотвращения разряда, а с другой стороны этот зазор должен быть как можно большим для снижения емкости электрода на корпус, образующей паразитную связь.

Выбор изоляции также является важным фактором, поскольку низкая диэлектрическая прочность изоляции может привести к ее пробою и выгоранию. Обычно для ВЧ изоляции используется фторопласт или керамику. А, например, капролон, обладающий более высокими механическими свойствами по сравнению с фторопластом и применяемый в РС на постоянном токе, для ВЧ РС не годится из-за недостаточной диэлектрической прочности.

Помимо обычных ВЧ РС, в которых ВЧ разряд возбуждается между потенциальным и заземленным электродами, разработаны конструкции ВЧ РС со сдвоенными ВЧ электродами, в которых на каждый из электродов с диэлектрической мишенью подается ВЧ напряжение со сдвигом по фазе на 1800 относительно друг друга. В этих системах, в отличие от обычных, предотвращается возможность возникновения разряда между ВЧ электродом и заземленными элементами внутрикамерного устройства, а также повышается эффективность процесса распыления. Конструктивные схемы ВЧ РС со сдвоенными электродами (с угловым размещением электродов, с электродами в виде разрезанного диска, с планарными коаксиальными электродами) приведены на рис. 1.31, а схемы связи ВЧ генератора с РС — на рис. 1.32.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector