Дуговое испарение материалов

Скорость нанесения материалов с помощью дуговых вакуумных испарителей определяется скоростью эрозии испаряемого электрода в соответствии с зависимостью (1.5). При этом важным параметром для испаряемого вещества является коэффициент эрозии μ. Как отмечалось выше, μ зависит от типа материала и уменьшается с ростом температуры испарения. Данные по некоторым материалам приведены в таблице 1.1.

Таблица 1.1. – Значения коэффициента эрозии катода для ряда материалов.

Дуговой испаритель конструктивно состоит из трех основных компонентов: катода, анода и поджигающего электрода (рис. 1.12). Для стабилизации дугового разряда может использоваться магнитное поле, создаваемое электромагнитом, аксиально размещенным относительно разрядной системы.

 

В дуговых испарителях с горячим катодом разряд горит в парах материала анода. Поскольку процессы ионизации в прианодной области недостаточно интенсивны, то степень ионизации пара осаждаемого материала невысока (примерно 30%), и конденсируемые частицы имеют низкие энергии. Для устранения этого недостатка на поверхность конденсации можно подавать дополнительный потенциал смещения. Второй недостаток таких систем осаждения – высокая равновесная температура, которая является причиной большого паразитного энерговыделения в вакуумный объем. Схема установки на базе дугового испарителя с горячим полым катодом показана на рис. 1.13.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector