наибольшее распространение до настоящего времени получили ЭЛИ с электронными пушками,

В частности, процесс испарения можно вести из охлаждаемого тигля (как правило, медного) или из неохлаждаемого (горячего, изготавливаемого из термостойкой керамики или тугоплавкого металла покрытого, Al2O3, ZrO2, BeO). С точки зрения энергетической эффективности предпочтительно испарение из горячего тигля. Однако при этом материал пленки будет загрязняться материалом тигля и продуктами газовыделения. Испарение из охлажденного тигля исключает контакт испаряемого вещества со стенками тигля, поэтому в технологическом оборудовании микроэлектроники используются ЭЛИ с холодным тиглем, обеспечивающие высокую чистоту пленки, но имеющие низкую энергетическую эффективность.

Примером достаточно простой конструкции ЭЛИ является испаритель с кольцевым катодом и испаряемым анодом-мишенью (рис. 1.4).

Термокатод 1 размещается в экране 2, обеспечивающем защиту катода от испаряемого материала и фокусировку электронного пучка 3 на штабик («таблетку», цилиндрик) 4 из испаряемого материала. Испаряемый материал крепится на водоохлаждаемом держателе 5, являющемся анодом. Высокое напряжение (до 15 кВ) прикладывается к катоду, а анод обычно заземлен. Экран находится под потенциалом катода или отрицательным относительно катода потенциалом.

Недостаток данной конструкции – ограничение по скорости испарения за счет ионизации потока испаряемого вещества при высокой его плотности, приводящей к пробоям, затруднениям с управлением мощностью пучка и т.п.

Описанный испаритель использовался в УВН первого поколения (например, в УВН-2М-2).

Позднее был разработан тигельный ЭЛИ с кольцевым катодом, в котором катод размещался вокруг массивного тигля с загруженным в него испаряемым материалом (рис. 1.5). Тигель разогревался потоком электронов с катода за счет приложенной между катодом и тиглем разности потенциалов. Такой ЭЛИ применялся в УВН второго поколения. Его недостатком является загрязнение пленки материалом тигля, поскольку электронным пучком разогревался тигель, а не непосредственно испаряемый материал.

Наибольшее распространение до настоящего времени получили ЭЛИ с электронными пушками, формирующими пучок электронов с помощью сложных электронно-оптических систем. В таких ЭЛИ применяются системы отклонения пучка, направляющие его в нужную область на поверхности испаряемого материала (ЭЛИ с криволинейным пучком). Угол разворота пучка (от 900 до 3000) позволяет полностью исключить влияние потока испаряемого вещества на электронную пушку, формирующую пучок, что исключает электрический пробой

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector