возможность вылета крупных частиц материала в капельной фазе при больших мощностях

Устройства, реализующие метод электронно-лучевого испарения, получили название электронно-лучевых испарителей (ЭЛИ). Для технологического оборудования (ТО) микроэлектроники (МЭ) применяются ЭЛИ мощностью 2–15 кВт, позволяющие обеспечить температуру испарения до ~3500 оС.

Возможности ЭЛИ велики. В металлургической промышленности для нанесения различных покрытий на металлические поверхности применяются ЭЛИ мощностью до 250 кВт, которые, например, испаряют алюминий со скоростью 45 кг/час. При использовании ЭЛИ для нанесения защитного покрытия на ленты производительность достигает 3 м/с (при толщине наносимого покрытия 2 мкм).

Достоинства ЭЛИ:

1)     возможность получения больших концентраций мощности (до 500 МВт/см2) и очень высоких температур, что позволяет испарять практически любые материалы с высокой скоростью;

2)     возможность управления положением пучка, что позволяет вести процесс испарения с больших площадей;

3)     достаточно большой срок службы ЭЛИ;

4)     высокая чистота испаряемого материала (при испарении из холодного тигля).

Недостатки ЭЛИ:

1)     возможность вылета крупных частиц материала в капельной фазе при больших мощностях («выбрызг»);

2)     ограничения по скорости испарения из-за ионизации потока вещества и возможности электрического пробоя по потоку, что затрудняет управление мощностью пучка;

3)     невысокая равномерность пленки по толщине на неподвижных подложках;

4)     значительное рентгеновское излучение с материала при больших энергиях электронов (более 15 кэВ);

5)     загрязнение пленки материалом тигля и продуктами газовыделения (для ЭЛИ с неохлаждаемым тиглем).

Существует множество различных типов ЭЛИ, которые можно классифицировать по методу ускорения электронов, способом закрепления

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector