Более высокотемпературными являются тигли из окиси тория

Более высокотемпературными являются тигли из окиси тория (до 2200оС), а также из графита (до 2500 оС), который хорошо обрабатывается.

Резистивные испарители обладают рядом существенных недостатков, которые ограничивают их применение:

1)     малый срок службы;

2)     загрязнение пленок материалом испарителя;

3)     невозможность испарения тугоплавких материалов;

4)     невоспроизводимость состава при испарении многокомпонентных веществ (из-за различной температуры испарения отдельных компонентов).

Последний недостаток можно устранить применением так называемого «взрывного испарения». Материал в виде порошка или тонкой проволоки подается на предварительно разогретую до температуры испарения самого тугоплавкого компонента лодочку, или же мощный импульс тока пропускается по самому испаряемому материалу. В этом случае материал практически мгновенно (в виде вспышки, взрыва) испаряется, не претерпевая температурного фракционирования (рис. 1.2).

Методом резистивного испарения невозможно обеспечить высокую равномерность наносимого слоя на большой площади без перемещения обрабатываемого изделия (подложки) относительно испарителя, который имеет сравнительно небольшие размеры. Поэтому установки термовакуумного испарения имеют, как правило, сложные внутрикамерные устройства (планетарные, карусельные, барабанные и т.п.).

Возникают также сложности с формированием потока испаряемого вещества и его стабилизацией во времени. Возможен «выброс» крупных частиц, особенно при взрывном испарении, что приводит к нарушению равномерности наносимого слоя и невозможностью получения качественных тонкопленочных покрытий.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector