Суть методов термовакуумного осаждения заключается в испарении материала путем нагрева

Суть методов термовакуумного осаждения заключается в испарении материала путем нагрева его до высоких температур и последующей конденсации паров вещества на приемной поверхности. Классификация методов ведется по способу нагрева вещества, а устройства, реализующие метод, называются испарителями. Термовакуумные методы и испарители подразделяются на четыре основные группы:

1.            резистивные;

2.            индукционные;

3.            электронно-лучевые;

4.            лазерные.

1.1.1.1           Резистивное испарение материалов

При резистивном испарении разогрев материала происходит за счет пропускания по самому материалу или чаще по специальному устройству (испарителю), в которое помещен испаряемый материал, электрического тока и выделению в нем джоулева тепла.

Резистивные испарители (рис. 1.1) представляют собой разнообразные устройства в виде проволочек, лент, спиралей, лодочек или тиглей, выполненных из термостойкого резистивного материала (Мo, W, Ta, Nb, различных тугоплавких соединений). Размещенный на испарителе материал испаряется и конденсируется на подложках, установленных напротив испарителя на специальных держателях.

Одной из проблем при резистивном испарении является выбор материала испарителя, который должен обладать высокой термостойкостью, не взаимодействовать с испаряемым материалом и не загрязнять его.

Например, испарители в виде тигля можно изготавливать из алунда (Al2O3) и окиси бериллия. Для этого на вольфрамовую спираль многократно наносят слой окислов Al или Be из водной суспензии с последующим отжигом каждого слоя до получения стенок тигля нужной толщины. Тигли из Al2O3 получаются более прочными и менее подвержены растрескиванию при высокой температуре. Они используются для испарения материалов при T<1600 oC (Cu, Ge, Mn, Fe, Sn и др.).

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector