Данная разработка предназначена для самостоятельной проработки студентами материала

Данная учебно-методическая разработка представляет собой лекционный материал по курсу «Вакуумно-плазменные процессы и оборудование» для студентов специальности 210107.65 «Электронное машиностроение», а также курсу «Основы вакуумно-плазменной технологии, процессов и оборудования», читаемому в рамках магистерской подготовки по направлению 210100.68 «Электроника и микроэлектроника».

Представленный материал охватывает два вида базового технологического оборудования для производства изделий микро- и наноэлектроники, а также изделий микросистемной техники: нанесения и травления материалов в вакууме.

Несмотря на то, что в настоящее время вакуумно-плазменные процессы являются базовыми технологическими процессами производства микроприборов, в изложенном материале приводятся сведения об альтернативных вакуумных процессах, в частности, процессах термовакуумного нанесения материалов.

Изложенный материал базируется на знаниях, полученных студентами при изучении курса «Вакуумная техника». Поэтому при изучении вакуумного технологического оборудования отмечаются только особые требования к вакуумной системе с учетом специфики технологического процесса и не затрагиваются вопросы проектирования вакуумных систем.

Данная разработка предназначена для самостоятельной проработки студентами материала по указанным курсам и содержит тот минимум знаний, который необходимо освоить студенту на уровне схематического представления о вакуумно-плазменных процессах и оборудовании. Физико-химические основы реализуемых процессов даны в учебно-методической разработка «Теоретические основы вакуумно-плазменных процессов». Для более детального знакомства с оборудованием в рамках самостоятельной работы студентам предлагается также пособие «Современное отечественное технологическое оборудование для нанесения и травления материалов» (файл ВППО_Т1.2.doc), в котором даются сведения о современном серийном технологическом оборудовании.


Ссылка на основную публикацию
Adblock detector